| 北儀優(yōu)成真空泵——晶圓鍍膜高效真空解決方案 |
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價(jià)格：8999 元(人民幣) | 產(chǎn)地：廣東東莞市 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：廣東東莞市 | |
| 上架時(shí)間：2025-04-24 10:36:34 | 瀏覽量：20 | |
東莞市飛粵真空科技有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商 | 公司類型：私營(yíng)有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：真空泵 | 主要客戶：全國(guó) | |
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北儀優(yōu)成真空泵——晶圓鍍膜高效真空解決方案
?? 應(yīng)用場(chǎng)景 北儀優(yōu)成真空泵專為半導(dǎo)體晶圓鍍膜（PVD/CVD）工藝設(shè)計(jì)，適用于： - 金屬鍍膜（Al、Cu、Ti等） - 介質(zhì)層沉積（SiO?、Si?N?） - 光刻膠涂覆前處理 - 離子注入輔助真空 確保鍍膜均勻性、附著力及低缺陷率，滿足5nm以下先進(jìn)制程的嚴(yán)苛要求。 ? 產(chǎn)品特點(diǎn) 1.超高真空度 - 極限真空達(dá)10?? Pa（根據(jù)實(shí)際參數(shù)調(diào)整），快速抽除腔體氣體，減少鍍膜前準(zhǔn)備時(shí)間。 2. 無油潔凈設(shè)計(jì) - 干式泵或分子泵方案可選，杜絕油蒸氣污染，保障晶圓表面零顆粒殘留。 3. 精準(zhǔn)壓力控制 - 配備PID調(diào)節(jié)系統(tǒng)，真空度波動(dòng)范圍≤±1%，確保鍍膜厚度一致性。 4. 抗腐蝕處理 - 泵腔與鍍膜工藝氣體（如Cl?、SF?）兼容，特殊涂層延長(zhǎng)關(guān)鍵部件壽命。 ?? 核心優(yōu)勢(shì)
?? 成功案例 某國(guó)際半導(dǎo)體代工廠 - 需求：提升12英寸晶圓銅鍍膜良品率，解決傳統(tǒng)泵顆粒污染問題。 - 方案：定制北儀優(yōu)成干式螺桿泵+分子泵組，集成原位清洗功能。 - 效果： - 鍍膜缺陷率下降 72%（從500ppm→140ppm）； - 抽氣速度提升 40%，單批次產(chǎn)能增加； - 獲客戶“設(shè)備供應(yīng)商”認(rèn)證。 北儀優(yōu)成真空泵通過超高真空、零污染、長(zhǎng)壽命三大特性，成為晶圓鍍膜工藝的可靠選擇： - 降低生產(chǎn)成本：減少維護(hù)頻次與廢品率； -提升技術(shù)指標(biāo)：滿足先進(jìn)制程對(duì)真空環(huán)境的要求； - 靈活適配：支持與AMAT、Lam Research等主流鍍膜設(shè)備配套。    |
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