| 貝克真空泵賦能精密電子制造的真空技術(shù)解決方案 |
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價(jià)格：9520 元(人民幣) | 產(chǎn)地：廣東東莞市 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：廣東東莞市 | |
| 上架時(shí)間：2025-04-19 10:34:59 | 瀏覽量：36 | |
東莞市飛粵真空科技有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商 | 公司類型：私營(yíng)有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：真空泵 | 主要客戶：全國(guó) | |
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貝克真空泵賦能精密電子制造的真空技術(shù)解決方案
在電子行業(yè)向微型化、高集成度方向發(fā)展的今天，真空技術(shù)已成為半導(dǎo)體制造、顯示面板生產(chǎn)、電子元件封裝等核心工藝的關(guān)鍵支撐。作為全球真空技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)品牌，貝克真空泵通過(guò)創(chuàng)新技術(shù)矩陣，為電子行業(yè)客戶提供全流程真空系統(tǒng)解決方案。 核心應(yīng)用場(chǎng)景解析 1. 半導(dǎo)體晶圓制造 - 晶圓蝕刻工藝：搭載干式螺桿真空泵，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)刻蝕精度，無(wú)油污染設(shè)計(jì)滿足Class 1潔凈室要求 - 化學(xué)氣相沉積（CVD）：多級(jí)羅茨泵組提供穩(wěn)定真空環(huán)境，確保薄膜沉積均勻性誤差<0.5% - 離子注入工藝：配備智能變頻控制系統(tǒng)，真空度波動(dòng)范圍控制在±0.1Pa以內(nèi) 2. 光伏與LED生產(chǎn) - 太陽(yáng)能電池鍍膜：COBRA螺桿真空泵實(shí)現(xiàn)連續(xù)2000小時(shí)無(wú)故障運(yùn)行，支持PERC/TopCon技術(shù)升級(jí) - LED外延生長(zhǎng)：集成式真空系統(tǒng)將MOCVD設(shè)備抽速提升30%，氦氣回收效率達(dá)92% 3. 平板顯示制造 - OLED真空蒸鍍：磁懸浮分子泵實(shí)現(xiàn)10^-6 Pa極限真空，保障有機(jī)材料沉積純度 - LCD液晶灌注：模塊化真空站支持多腔體并行作業(yè)，良品率提升至99.3%
4. 電子元件封裝 - 芯片級(jí)封裝（CSP）：微型渦旋泵實(shí)現(xiàn)0.1秒快速抽真空，支持BGA/Flip Chip先進(jìn)封裝工藝- MEMS器件封裝：潔凈真空環(huán)境控制微粒數(shù)<10顆/m?（ISO 5級(jí)標(biāo)準(zhǔn)） 貝克技術(shù)優(yōu)勢(shì)矩陣
典型應(yīng)用案例 案例1：某12英寸晶圓廠升級(jí)項(xiàng)目 - 挑戰(zhàn)：原有真空系統(tǒng)能耗占全廠8%，維護(hù)成本年增25% - 方案：部署20臺(tái)COBRA NC 1300干式螺桿泵+中央控制系統(tǒng) - 成果： - 真空能耗降低42%（年節(jié)約電費(fèi)￥860萬(wàn)） - MTBF延長(zhǎng)至38,000小時(shí) - 獲得SEMI S2認(rèn)證 案例2：柔性O(shè)LED量產(chǎn)線建設(shè) - 需求：滿足8.5代線10^-5 Pa真空度，抽氣時(shí)間<90秒 - 方案：定制化MINK爪式泵+渦輪分子泵組合系統(tǒng) - 成效： - 生產(chǎn)節(jié)拍提升22% - 產(chǎn)品色域達(dá)到110% NTSC - 通過(guò)T?V零碳工廠認(rèn)證 行業(yè)趨勢(shì)應(yīng)對(duì)方案 針對(duì)電子行業(yè)演進(jìn)，貝克提供前瞻性技術(shù)支持： - 第三代半導(dǎo)體：GaN/SiC器件制造專用耐腐蝕真空系統(tǒng) - 先進(jìn)封裝：3D IC集成所需的多層級(jí)真空解決方案 - 微型化趨勢(shì)：適配晶圓薄化工藝的精密真空夾具 -5G通信：高頻PCB板制造的真空層壓技術(shù)套件     |
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