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RBN-XY系列雙軸精密運動臺
RBN-XY系列雙軸精密運動臺 價格:  元(人民幣) 產地:本地
最少起訂量:1 發貨地:本地至全國
上架時間:2024-04-24 11:35:50 瀏覽量:115
北京瑞邦精控科技有限公司  
經營模式: 公司類型:
所屬行業:儀器儀表加工設備 主要客戶:高校,企業,科研單位
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聯系人:王欣悅 (小姐) 手機:18145668702
電話: 傳真:
郵箱:490748999@qq.com 地址:

詳細介紹

產品特點

 

?  緊湊式直驅結構                                                      ?  重復定位精度±50nm

?  抗蠕動交叉滾柱導軌                                              ?  直線度和平面度±0.5μm

?  微動步距≤2nm                                                        ?  可定制高真空版本

 


應用領域

RBN-XY系列是一款高精度的雙軸精密運動臺,具有納米級微動步距,亞微米級重復定位精度,高動態性能,結構緊湊,用于飛秒激光加工、光學制造及檢測、測試測量、半導體、光纖對準和科研等領域。

 

結構特點

三片式疊層結構設計,有效地降低工作點的高度,減小阿貝誤差對系統精度的影響。直線電機驅動,具有零齒槽、高動態性能及電流噪聲小等特點。運動臺在低速運動時保持平穩,在高速狀態不會產生振動。抗蠕動交叉滾柱直線導軌,滾柱間線線接觸,運動平穩,交叉排列,多方向受力穩定。

 

精度性能

非接觸式光柵尺閉環反饋,通過結構設計、材料選擇、加工工藝、裝配方法等綜合把控,獲得高精度指標,定位精度±0.1μm,雙向重復定位精度±50nm,直線度和平面度±0.5μm。

 

微動步距

對有微動步距要求的應用領域,如最小步距運動、對準應用等,微動步距≤2nm,對現場使用環境的要求,更多細節可聯系瑞邦精控。

 

定制化

可定制高真空環境下的版本,真空度10^-7Torr;定制最大加速度,多軸結構等;根據應用可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振臺等整套運動控制方案。


規格指標

型號

單位

RBN-50XY

RBN-110XY

RBN-150XY

行程

mm

50 x 50

110 x 110

150 x 150

補償后定位精度 

Plus (1)

μm

±0.1

±0.1

±0.1

標準值

±0.25

±0.3

±0.3

雙向重復定位精度 

Plus (1)

μm

±0.025

±0.05

±0.05

標準值

±0.1

±0.1

±0.1

直線度 (2)

Plus (1)

μm

±0.25

±0.5

±0.5

標準值

±1

±1

±1.5

平面度 (2)

Plus (1)

μm

±0.5

±0.5

±0.5

標準值

±1

±1

±1.5

Pitch Roll (2)

Plus (1)

arc sec

±2.5

±3

±3

標準值

±5

±5

±5

Yaw (2)

Plus (1)

arc sec

±1

±1

±1

標準值

±2.5

±2.5

±2.5

電子分辨率 (3) 

nm

0.3 5(選配)

速度 (空載) (4)

mm/s

200

加速度 (空載) (4)

m/s?

1,5 定制

負載

kg

20

注:

以上為單軸精度指標,在潔凈間內測試,溫度20℃±1℃,濕度40%~60%RH,振動等級VC-E,測試點在負載板上25mm處,測試速度10mm/sRenishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法,多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關,環境的變化會導致精度變化,如要求非標準測試,請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標,是標準值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。

4. 空載條件下的精度指標,速度和加速度取決于負載大小。

 

 

 

 

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