RBN-XY系列雙軸精密運動臺 |
![]() |
價格: 元(人民幣) | 產地:本地 |
最少起訂量:1臺 | 發貨地:本地至全國 | |
上架時間:2024-04-24 11:35:50 | 瀏覽量:115 | |
北京瑞邦精控科技有限公司
![]() |
||
經營模式: | 公司類型: | |
所屬行業:儀器儀表加工設備 | 主要客戶:高校,企業,科研單位 | |
![]() ![]() |
聯系人:王欣悅 (小姐) | 手機:18145668702 |
電話: |
傳真: |
郵箱:490748999@qq.com | 地址: |
產品特點
l ? 緊湊式直驅結構 ? 重復定位精度±50nm l ? 抗蠕動交叉滾柱導軌 ? 直線度和平面度±0.5μm l ? 微動步距≤2nm ? 可定制高真空版本
應用領域 RBN-XY系列是一款高精度的雙軸精密運動臺,具有納米級微動步距,亞微米級重復定位精度,高動態性能,結構緊湊,用于飛秒激光加工、光學制造及檢測、測試測量、半導體、光纖對準和科研等領域。
結構特點 三片式疊層結構設計,有效地降低工作點的高度,減小阿貝誤差對系統精度的影響。直線電機驅動,具有零齒槽、高動態性能及電流噪聲小等特點。運動臺在低速運動時保持平穩,在高速狀態不會產生振動。抗蠕動交叉滾柱直線導軌,滾柱間線線接觸,運動平穩,交叉排列,多方向受力穩定。
精度性能 非接觸式光柵尺閉環反饋,通過結構設計、材料選擇、加工工藝、裝配方法等綜合把控,獲得高精度指標,定位精度±0.1μm,雙向重復定位精度±50nm,直線度和平面度±0.5μm。
微動步距 對有微動步距要求的應用領域,如最小步距運動、對準應用等,微動步距≤2nm,對現場使用環境的要求,更多細節可聯系瑞邦精控。
定制化 可定制高真空環境下的版本,真空度10^-7Torr;定制最大加速度,多軸結構等;根據應用可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振臺等整套運動控制方案。 規格指標
注: 以上為單軸精度指標,在潔凈間內測試,溫度20℃±1℃,濕度40%~60%RH,振動等級VC-E,測試點在負載板上25mm處,測試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法,多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關,環境的變化會導致精度變化,如要求非標準測試,請咨詢我們。 1. Plus值為高精度指標,是標準值的升級版。 2. 取決于平臺安裝表面的平面度。 3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。 4. 空載條件下的精度指標,速度和加速度取決于負載大小。
|
版權聲明:以上所展示的信息由會員自行提供,內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責。機電之家對此不承擔任何責任。 友情提醒:為規避購買風險,建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質及產品質量。 |