RBZ-SG系列精密Z軸 |
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價格: 元(人民幣) | 產地:本地 |
最少起訂量:1臺 | 發貨地:本地至全國 | |
上架時間:2024-04-23 15:08:45 | 瀏覽量:111 | |
北京瑞邦精控科技有限公司
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經營模式: | 公司類型: | |
所屬行業:儀器儀表加工設備 | 主要客戶:高校,企業,科研單位 | |
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聯系人:王欣悅 (小姐) | 手機:18145668702 |
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產品特點
l ? 垂直平升行程可達50mm,整體尺寸結構緊湊,速度可達20mm/s,最大負載60kg l ? 高精度交叉滾柱導軌,無槽無刷力矩電機,低膨脹系數光柵有助實現納米級微動步距 l ? 高可靠性驅動機構,使用壽命長
應用領域 RBZ-SG系列是一款長行程的精密平升Z軸,具有納米級微動步距,高動態性能,結構緊湊,用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、測試測量、生物工程等高精度行業。
結構特點 RBZ-SG系列直驅結構,承載能力大,在一個長行程的移動范圍,保持盡可能低的高度,優化阿貝誤差影響,有助于提高整體精度性能。抗蠕變交叉滾柱導軌垂直導向,為提升直線度、Pitch Roll Yaw指標提供創新解決方案。
直驅結構 力矩電機作為直驅方式,沒有皮帶、齒輪、蝸輪蝸桿和彈性聯軸器中間傳動環節,RBZ-SG平升Z軸直接托舉負載運動,相對側升結構Z軸,無需轉接板,負載重心布置在Z軸中心,有利于運行過程減小俯仰和偏擺的影響。
光柵閉環反饋 RBZ-SG平升Z軸為雙閉環反饋,直線光柵和圓光柵相結合的雙反饋方式,直接測量工件移動時的誤差,提高了精度性能。
規格指標
注: 以上為單軸精度指標,在潔凈間內測試,溫度20℃±1℃,濕度40%~60%RH,振動等級VC-E,測試點在負載板上25mm處 |
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