現在,我們日常生活中經常使用真空生產的商品,包括平板電視、手機等電子設備,核磁共振成像等設備,從真空干燥的蔬菜到干燥冷凍食品等食品產品。有。在技術的開發領域,以半導體產品、宇宙機器為首,從事品開發的大學、民間企業的研究室,都廣泛地使用真空泵。
真空是
“指的是充滿壓力比大氣壓低的稀薄氣體的空間狀態。當然,除了宇宙空間,在地面上,密閉容器的氣體會通過某種方法強制排出,形成比大氣壓低的壓力狀態。其手段是使用真空泵。
氣體的狀態由溫度和壓力來表示,無論它是高于或低于大氣壓力。壓力的單位有〔力/面積〕的維度,在單位制中基本是〔N/m2=Pa:帕斯卡〕※1。以往,作為表示真空狀態的壓力單位〔Torr=mmHg〕被使用,不過,隨著宇宙空間的工學利用,為了與工程單位具有共通性,作為表示真空程度的單位〔Pa:帕斯卡〕開始被使用了。工學系單位,以大氣壓狀態為基準〔壓力=零〕壓力表示(量規壓)※2的事多,不過,真空系根據表- 1的壓的表示容易明白。在密閉的空間里,無論降低壓力,氣體分子都不可能消失,所以即使壓力無限接近于零,也幾乎不可能變成零。如果用量規壓來表示的話,會變成非常難理解的數值。
※1 1kgf=9.8N(牛頓)
※2壓力容器(鍋爐、氣瓶)等
真空泵
從密閉容器排出氣體時,與壓縮機一樣,對從進氣口進入的氣體通過旋轉或往復運動進行壓縮后排出到大氣(容積排氣型)。但是,這在低真空的氣體密度大的范圍(粘性流區域)是有效的,但是在高真空的氣體密度小的氣體分子之間不發生碰撞的范圍(分子流區域),利用了氣體分子單獨排氣的其他機制的真需要空泵。(參見表-2)這就是油擴散泵或渦輪分子泵。油擴散泵加熱油制造油蒸汽,通過從噴嘴高速噴出的噴射流將氣體分子壓縮到高真空區域。渦輪分子泵是指高速旋轉(3000 ~ 10000轉)的葉輪將氣體分子吹到高真空區域后壓縮排氣。在高真空排氣泵中,進氣口為高真空區域,排氣口為低真空區域,比大氣壓力低,所以在排氣口連接低真空排氣泵(油轉泵、干泵等)作為輔助泵,終向大氣排氣。
(參見真空排氣單元一節)
在此,關于在大學、民間實驗室等容易使用的油旋轉真空泵,將進行以下敘述。
油轉真空泵
SFC日本佐藤真空泵SATOVAC V-1501
HS日本佐藤真空泵SATOVAC V-3-30G
HS日本佐藤真空泵SATOVAC V-8-50
HS日本佐藤真空泵SATOVAC V-12-80
TPS-50ZA
TPS-50ZB
TPS-50ZC
TPS-220ZA
TPA-220ZB
TPS-220ZC
DPS-2-ZA
DPS-2-ZB
DPS-3-ZA
DPS-3-ZB
DPS-4-ZA
DPS-4-ZB
DQ-P
DQPG-D5A
P日本佐藤真空泵SATOVAC VD-9500-7
PG-20B
PG-3PM
PG-2BM
PG-3FM
IG-D7A
CR-D8A
CR-2PM
CR-1N
日本佐藤真空泵SATOVAC VGS-240
真空裝置
SFC日本佐藤真空泵SATOVAC V-1001
SFC日本佐藤真空泵SATOVAC V-1003
SFC日本佐藤真空泵SATOVAC V-1501