ATOVAC真空計(jì)(增強(qiáng)對(duì)流計(jì))EG301 |
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產(chǎn)品名稱(chēng):ATOVAC真空計(jì)(增強(qiáng)對(duì)流計(jì))EG301 產(chǎn)品型號(hào):EG301 產(chǎn)品介紹
通常安裝在真空室內(nèi),它是一個(gè)讀取真空室內(nèi)實(shí)際壓力的儀表,需要+24 VDC(可能為15 VDC)電源。EG301增強(qiáng)型對(duì)流壓力計(jì)具有3~10 VDC信號(hào)輸出,用于半導(dǎo)體工藝和真空設(shè)備。
性能特點(diǎn)
l 可以進(jìn)行大范圍的壓力測(cè)量(2.0 X 10-4至760 Torr)。 l 高精度和增加的占地面積效率。 l 提供模擬輸出,以便直接連接到PLC和其他設(shè)備進(jìn)行顯示。 l 由于采用了7段LED,因此可以遠(yuǎn)距離讀取。 l PC可以使用RS-485進(jìn)行控制。 l 提供兩個(gè)設(shè)置點(diǎn)用于外部設(shè)備和過(guò)程。 l 它可以以低成本維修(更換傳感器導(dǎo)線)。 l 可單獨(dú)使用,無(wú)需控制器。
技術(shù)參數(shù)
輸入功率:+24伏直流電(可能15伏直流電) 輸出功率:+3 VDC至10 VDC 工作溫度:0~50℃ 壓力范圍:2.0 X 10-4~760Torr 顯示窗口:7段LED 顯示單元:托爾(Torr) 安裝位置:水平 細(xì)絲:鉑99.999% 法蘭:NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF,1/4 VCR內(nèi)螺紋,CF法蘭 界面:模擬輸出,RS-485,2個(gè)設(shè)定點(diǎn) |
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