SURAGUS 薄膜電阻測(cè)試儀 |
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SURAGUS 薄膜電阻測(cè)試儀 方塊電阻測(cè)試儀 SURAGUS EddyCus TF map 2525 薄膜面電阻和厚度測(cè)試儀 方阻測(cè)試儀? 薄膜面阻測(cè)試儀 TF lab系列產(chǎn)品是一款適合實(shí)驗(yàn)室研發(fā)或成品檢測(cè)使用的薄膜面電阻(方塊電阻)及薄膜厚度測(cè)量的儀器。 特點(diǎn) 非接觸成像 高解析度成像(25 至1,000,000 點(diǎn)) 缺陷成像 封裝層的地圖 參數(shù) ? 面電阻(方塊電阻)(歐姆/平方) 金屬層厚度(nm、μm) 金屬基板厚度(nm、μm) 各向異性 缺陷 完整性評(píng)定 應(yīng)用 建筑玻璃(LowE) 觸摸屏和平板顯示器 OLED和LED應(yīng)用 智能玻璃的應(yīng)用 透明防靜電鋁箔 光伏 半導(dǎo)體 除冰和加熱應(yīng)用 電池和燃料電池 包裝材料 ? 材料 金屬薄膜和柵格 導(dǎo)電氧化物 納米線膜 石墨烯、CNT(碳納米管)、石墨 打印薄膜 導(dǎo)電聚合物(PEDOT:PSS) 其他導(dǎo)電薄膜及材料 規(guī)格參數(shù) 測(cè)量技術(shù):非接觸式渦流傳感器 基板:例如:箔片、玻璃、晶圓,等等 最大掃描面積:10 inch / 254 x 254 mm(根據(jù)要求可以更大) 邊緣效應(yīng)修正/排除:對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)尺寸,排除2 mm的邊緣 最大樣品厚度/傳感器間隙:2 / 5 / 10 / 25 mm(由最厚的樣本確定) 面電阻(方塊電阻)的范圍: 低? ? ? ?0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度 標(biāo)準(zhǔn)? ? 1 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度 高? ? ? ?10 - 10,000 Ohm / sq; 4 至 8 % 精度 金屬膜的厚度測(cè)量(例如:鋁、銅):2 nm - 2 mm (與薄膜電阻一致) 掃描間距:1 / 2 / 5 / 10 mm (根據(jù)要求的其它尺寸) 每單位時(shí)間內(nèi)測(cè)量點(diǎn)(二次形): 5分鐘內(nèi)10,000個(gè)測(cè)量點(diǎn) 30分鐘內(nèi)1,000,000 個(gè)測(cè)量點(diǎn) 掃描時(shí)間: 4 inch / 100 x 100 mm,在0.5至5分鐘內(nèi)(1-10mm 間距) 8 inch / 200 x 200 mm,在1.5至15分鐘內(nèi)(1-10mm 間距) 裝置尺寸(寬/厚/深):549 x 236 x 786(836) mm? /? 23.6 x 9.05 x 31.5 inch 重量: 27 kg 可用特色: 薄膜面阻成像 各向異性電阻傳感器 ? |
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