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SURAGUS 薄膜電阻測(cè)試儀
SURAGUS 薄膜電阻測(cè)試儀 價(jià)格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:本地
最少起訂量:1臺(tái) 發(fā)貨地:本地至全國(guó)
上架時(shí)間:2022-09-22 09:52:31 瀏覽量:244
北京銳峰先科技術(shù)有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式:代理商 公司類型:私營(yíng)有限責(zé)任公司
所屬行業(yè):無(wú)損檢測(cè)儀器 主要客戶:半導(dǎo)體電子等行業(yè)
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詳細(xì)介紹

SURAGUS 薄膜電阻測(cè)試儀 方塊電阻測(cè)試儀
SURAGUS EddyCus TF map 2525 薄膜面電阻和厚度測(cè)試儀
方阻測(cè)試儀? 薄膜面阻測(cè)試儀


TF lab系列產(chǎn)品是一款適合實(shí)驗(yàn)室研發(fā)或成品檢測(cè)使用的薄膜面電阻(方塊電阻)及薄膜厚度測(cè)量的儀器。

特點(diǎn)

非接觸成像
高解析度成像(25 至1,000,000 點(diǎn))
缺陷成像
封裝層的地圖


參數(shù)
?
面電阻(方塊電阻)(歐姆/平方)
金屬層厚度(nm、μm)
金屬基板厚度(nm、μm)
各向異性
缺陷
完整性評(píng)定

應(yīng)用

建筑玻璃(LowE)
觸摸屏和平板顯示器
OLED和LED應(yīng)用
智能玻璃的應(yīng)用
透明防靜電鋁箔
光伏
半導(dǎo)體
除冰和加熱應(yīng)用
電池和燃料電池
包裝材料
?
材料

金屬薄膜和柵格
導(dǎo)電氧化物
納米線膜
石墨烯、CNT(碳納米管)、石墨
打印薄膜
導(dǎo)電聚合物(PEDOT:PSS)
其他導(dǎo)電薄膜及材料

規(guī)格參數(shù)

測(cè)量技術(shù):非接觸式渦流傳感器
基板:例如:箔片、玻璃、晶圓,等等
最大掃描面積:10 inch / 254 x 254 mm(根據(jù)要求可以更大)
邊緣效應(yīng)修正/排除:對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)尺寸,排除2 mm的邊緣
最大樣品厚度/傳感器間隙:2 / 5 / 10 / 25 mm(由最厚的樣本確定)

面電阻(方塊電阻)的范圍:
低? ? ? ?0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度
標(biāo)準(zhǔn)? ? 1 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度
高? ? ? ?10 - 10,000 Ohm / sq; 4 至 8 % 精度

金屬膜的厚度測(cè)量(例如:鋁、銅):2 nm - 2 mm (與薄膜電阻一致)
掃描間距:1 / 2 / 5 / 10 mm (根據(jù)要求的其它尺寸)

每單位時(shí)間內(nèi)測(cè)量點(diǎn)(二次形):
5分鐘內(nèi)10,000個(gè)測(cè)量點(diǎn)
30分鐘內(nèi)1,000,000 個(gè)測(cè)量點(diǎn)

掃描時(shí)間:
4 inch / 100 x 100 mm,在0.5至5分鐘內(nèi)(1-10mm 間距)
8 inch / 200 x 200 mm,在1.5至15分鐘內(nèi)(1-10mm 間距)

裝置尺寸(寬/厚/深):549 x 236 x 786(836) mm? /? 23.6 x 9.05 x 31.5 inch
重量: 27 kg

可用特色:
薄膜面阻成像
各向異性電阻傳感器
?

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