日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器SIT-200 |
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價格:1200 元(人民幣) | 產地:日本 |
最少起訂量:1件 | 發貨地:本地至全國 | |
上架時間:2022-08-10 16:16:46 | 瀏覽量:160 | |
天津瑞利光電科技有限公司
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經營模式:貿易公司 | 公司類型:私營有限責任公司 | |
所屬行業:光學儀器 | 主要客戶: | |
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天津瑞利光電科技有限公司優勢經銷日本ALNAIR硅晶圓厚度傳感器 ? 品牌名稱:ALNAIR ? 規格型號:SIT-200
產品介紹 用于硅晶片的全光學非接觸式厚度傳感器 高動態范圍,能夠測量混亂的表面 能夠在濕蝕刻過程中進行原位測量 SIT-200使用高速掃頻可調激光器(而不是寬帶光源)來探測被測晶片。這樣就可以對每個波長進行更高功率的測量,從而實現高動態范圍。即使在未拋光的晶片上,例如在濕蝕刻期間/之后,也可以進行厚度測量。硅晶圓厚度傳感器由準確調諧的波長掃描激光源,聚焦傳感器和光接收器(PD)構成。波長掃描光聚焦在目標上,并且在通過傳感器后,PD會檢測到從目標表面反射回來的干涉圖樣。 產品參數 測量對象:硅片 可測厚度:10~500(n = 3.5)μm 光源:波長掃描激光源 (1515~1585)nm 光輸出功率:0.6,激光等級1 mW 引導光源:紅色LD,激光等級1M 測量時間:min.20 ms 重復性:小于0.1(3σ)μm 監控輸出:干擾信號(電氣) PC接口:以太網 電源:AC 100-240(50/60 Hz)V 尺寸(寬x高x深):364 x 147 x 391 mm 重量:9.0 kg
天津瑞利光電科技有限公司于2016年成立,坐落于渤海之濱天津,地理位置得天獨厚,交通運輸便利,進出口貿易發達。憑借著歐洲的采購中心,我們始終為客戶提供歐美工業技術、高新科技等發達國原裝進口的光電設備、光學儀器、機電設備及配件、電氣成套設備、工業自動化控制設備產品,同時擁有多個品牌的授權經銷和代理權。
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