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解鍵合機智能測繪料籃內晶圓,可對已鍵合晶圓進行自動校正
解鍵合機智能測繪料籃內晶圓,可對已鍵合晶圓進行自動校正 價格:  元(人民幣) 產地:本地
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上架時間:2022-06-22 16:09:50 瀏覽量:142
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詳細介紹

解鍵合機智能測繪料籃內晶圓,可對已鍵合晶圓進行自動校正




晶圓解鍵合機 Wafer Debonding特點:
4”-8”/8”-12”晶圓適用,可應對薄晶圓的解鍵合。
解鍵合機智能測繪料籃內晶圓,兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。
解鍵合機可對已鍵合晶圓進行自動校正。
可定制真空熱壓/UV/激光等方式實現解鍵合(Wafer Debonding)。
晶圓解鍵合機配有高精度機械手,可自動撕除晶圓臨時鍵合所用到的膠膜。
解鍵合機可自動為晶圓貼覆切割膜。
可選配嵌入式紫外線照射模塊。
工控機+Windows系統。
SECS/GEM 或簡易聯網能力。



晶圓解鍵合機 Wafer Debonding規格:
品名                                       Wafer Debonding(晶圓解鍵合機)
晶圓尺寸                                 4”-8”/8”-12”
支持基板                                 玻璃
激光/UV/加熱器                      可選
晶圓切割膜覆蓋                       搭載
解鍵合機撕膜模塊                    搭載
晶圓盒形式                             兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料
其他                                       SECS/GEM 或簡易聯網能力



了解更多:http://www.hapoin.com/wafer_bonding_debonding/




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