| UP-230 不銹鋼腔體式薄膜制備裝置 |
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價格：500000 元(人民幣) | 產地：深圳 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：深圳 | |
| 上架時間：2017-06-21 15:43:25 | 瀏覽量：1077 | |
深圳優(yōu)普萊等離子體技術有限公司
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| 經營模式：生產加工 | 公司類型：其他有限責任公司 | |
| 所屬行業(yè)：其他洗滌機械 | 主要客戶：科研，院校 | |
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| 聯(lián)系人:王先生 (先生) | 手機:15361490030 |
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| 郵箱:403319553@qq.com | 地址:深圳南山區(qū)科興科學園A1座601 |
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適合的應用： ◆ 化學氣相沉積法制備高品質單晶金剛石（基臺直徑5厘米）; ◆ 化學氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜。 產品特點： ◆ 本產品為不銹鋼腔體式5kw微波等離子體設備，功率密度高； ◆ 水冷式基片臺和水冷式金屬反映腔，保證系統(tǒng)能長時間穩(wěn)定工作； ◆ 基片溫度以微波等離子體自加熱方式達到； ◆ 真空測量儀表采用全量程真空計，可精確測量本底真空和工作氣體壓強； ◆ 真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1x10-5Pa)和旋片式機械真空泵(極限真空為6x10-2Pa)，裝置可調節(jié)高真空隔膜閥和并聯(lián)高真空微調閥控制沉積氣壓； ◆ 配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，無水源要求，確保裝置高功率下可長時間安全穩(wěn)定運行； ◆ PLC自動控制和手動操作兩種操作模式，工藝流程可重復； ◆ 可配置沉積氣壓自動控制模塊與全自動工藝控制模塊，以便于穩(wěn)定可靠地制備高品質金剛石薄膜和晶體。 |
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