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研磨機——OKAMOTO岡本GNX300B全自動晶圓減薄機特點：
GNX300B擁有BG研磨專利技術。
日本機械學會授予岡本標準傳送方式及向下研磨方法技術獎
主軸機械精度可調
岡本自產鑄金一體化結構，不易老化，精度持久
潤滑系統有完善防護，避免異物進入造成磨損
適用晶圓尺寸：6”、8”、12” 最大晶圓厚度： 1000μm
可切換全自動、半自動操作模式
17 寸觸控操作與監控屏，監控氣壓、電流、水流、厚度等
研磨耗材損耗小，加工成本低廉
研磨硅屑細小，沖洗更干凈



GNX300B晶圓研磨機規格：
規格 GNX300B
最大加工直徑 Ф300mm
主軸轉速范圍 0~3000rpm
主軸驅動電機功率 5.5/4 Kw/P
主軸進給速度范圍 1~999μm/min
主軸數 2
工作盤轉速范圍 1~300rpm
研磨輪尺寸 Ф300mm
設備整重 5700kg