| 產品參數 |
| 勻膠機/旋涂儀/勻膠儀/旋轉涂膜機 型號：MHY-100 配件 品牌 | 北京美華儀 |
| 電源 | 220V/50hz |
| 分辨率 | 1rpm |
| 加工定制 | 是 |
| 顯示方式 | 數顯 |
| 質保服務 | 一年保修 |
| 每段加速時間 | 1～99 s |
| 解吸片時間 | 1～99 s |
| 每段勻膠時間 | 1～99 s |
| 真空泵抽氣速率 | 60L/min |
| 鍍膜尺寸 | 5-100mm |
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 |
| 用途 | 用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料 | |
勻膠機旋涂儀/旋涂儀/勻膠機 型號：MHY-100
一. 產品應用
MHY-100型勻膠機（Spin Coater），是新一代旋轉涂膜設備，具有速度精度高，主動式速度調控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂層的制備。
二. 產品特點
1. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。
2. 真空室采用316L耐腐蝕不銹鋼制作，防止長期使用過程中膠液的侵蝕。
3. 接膠盤為PP材料經精加工制作而成，接儲脫離基片的膠液，避免進入設備內部。耐腐蝕、可拆卸、易清洗。
4. 旋轉臺采用鋁材制作，表面經過硬質氧化處理，耐摩擦同時避免劃傷基片底部。防止膠液的腐蝕。
5. 勻膠過程自動分段程序控制。整個勻膠過程可分十段進行，每段的加速時間、旋轉速度、勻膠時間均可精密控制、連續可調。
6. 4.3英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態及各項參數實時顯示，更直觀了解勻膠進程；
7. 旋轉前增加預吸片步驟，“預吸片時間”為99s，確保基片牢固吸附于旋轉臺后再進行旋轉涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間”最多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。
8. 采用穩定的直流電機及驅動器，旋轉速度采用主動控制方式，區別于老舊的被動測速控制方式，從而使旋轉速度更精確。
9. 標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺，防止飛片。
三. 技術參數
1. 旋涂速度：400～8000 rpm
2. 轉速調節精度：1rpm
3. 每段加速時間：1～99 s
4. 每段勻膠時間：1～99 s
5. 預吸片時間：1～99 s
6. 解吸片時間：1～99 s
7. 鍍膜尺寸：5-100mm
8. 真空泵抽氣速率：60L/min
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