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供應Horiba 數字式質量流量計Z524、Z522 流量計

流量20SLPM 30SLPM ,腐蝕性氣體

型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選 數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選 模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國內組裝模擬型：HoribaS48 28、horiba S48 32、S300

國內組裝數字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212??????

產品概述

日本horiba Z522、Z524數字式質量流量控制器屬于SEC-500X系列， 數字式質量流量控制器多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，國內多回收、二次銷售，我公司提供 Z524、Z522，保修期1年。

產品特點
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地 氣體類型及更改滿量程流量, 現場設定;
2) 超 ±1.0 S.P. (25- F.S.); ±0.25 F.S. (≤25 F.S.);
3) 快速響應 lt;1秒>4) 非常方便的現場設置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存;
6) 與現有模擬式質量流量控制器完全兼容;
7) 模擬通信與數字通信(DeviceNet)可同時進行;

氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼(1sccm ~ 50slpm F.S. 類型)；

?SUS 316L不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不銹鋼(100 ~ 200slpm F.S. 類型)

產品參數

本公司同時提供美國AALBORG、美國Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質量流量計、質量流量控制器、數字式質量流量控制器 質量流量控制器

進口數字型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG

進口 數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

進口 模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S、

國內組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、

國內組裝數字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30?PO、LV-F30?PO、LV-F40 PO、LV-F