產品參數 |
品牌 | SINTAIKE |
產地 | 中國 |
品名 | 晶圓倒片機 |
英文名 | Wafer Sorter |
晶圓尺寸 | 8寸、12寸 |
傳輸晶圓 | 100~300mm |
供應商 | 衡鵬 |
晶圓厚度 | 200~1000微米 |
體積 | 1360 mm*1530 mm*1820 mm |
凈重 | <600公斤 |
電源電壓 | 220V |
16A |
Robot精度 | ±0.1mm |
Aligner精度 | ±0.1mm;±0.1° |
可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 |
類型 | 全自動 |
型號 | STK-3300 | |
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晶圓倒片機STK-3300全自動晶圓傳片機
——FOUP/4loadport/尋邊/Wafer ID讀取 STK-3300
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晶圓倒片機主要配置:
·雙臂robot: 1 set(可根據需求配置不同型號robot);
·真空吸附式陶瓷手指:2 set;
·300mm loadport:2~4 set;
·風機過濾系統(FFU):1 set;
·靜電消除器:1 set;
·Aligner:1 set;
·OCR:1 set;
·UPS:選配;
·200/300mm adaptor:選配;
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晶圓倒片機STK-3300規格參數:
晶圓直徑:12”晶圓(配置adaptor后可適用8寸晶圓);
晶圓厚度:200~1000微米;
晶圓種類:硅, 砷化鎵或其它材料;
載具種類:12寸標準FOUP(配置adaptor后可適用8/12寸Open cassette)
Robot精度:±0.1mm;
Aligner精度:±0.1mm;±0.1°;
防靜電控制:防靜電特氟龍涂層手指 /除靜電離子風棒;
控制單元:基于PLC 控制,帶10.1”觸摸屏;
安全防護:門開關互鎖sensor和緊急停機按鈕/安全光柵(選配);
電源電壓:單相交流電220V,16A;
壓縮空氣: 5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量100升/分鐘;
機器外殼:白色噴塑金屬外殼;
體積:1360 毫米(寬)*1530 毫米(深)*1820 毫米(不含燈高);
凈重 lt;600公斤;
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晶圓倒片機性能:
每小時傳片:≥300片(without aligning and OCR);
MTBF gt;1000小時;
MTTR lt;1小時;
停機時間 lt;3;