真空泵油是油封式真空泵中非常關鍵的一種材料，它在真空泵中起到密封和潤滑的作用。在工作時，真空泵油直接進入泵體腔內，隨著溫度的升高而蒸發，壓強降低，將泵內氣體帶到泵的側臂彎管球泡處聚集，當氣體到達一定的密度后，氣體將被抽出，從而達到真空狀態。
真空泵油升溫蒸發后經過特定的路徑排出，在排氣口安裝真空泵排氣過濾器（油霧分離器），過濾器捕獲到大的油霧顆粒，油霧顆粒受壓力推動，經過過濾器濾紙和特質無紡布后，聚集降溫，再經過玻纖濾紙，受重力的影響，流回循環。小的油霧分子過濾后則排出，過濾后的油霧分子已經非常清潔，無論是對廠區大氣環境還是人員健康的危害都是可以忽略不計的。
從以上可以看出，為真空泵安裝排氣過濾器不僅可以過濾掉氣體中的有害物質，達到環保要求，而且還可以實現真空泵油的循環使用，節約成本。同時，安裝質量過關的排氣過濾器，氣阻比較低，還能提高真空泵的性能，延長真空泵的使用壽命。