(1）空氣型 供應(yīng)空氣的氣源裝置設(shè)備一般應(yīng)包括空壓機(jī)、儲(chǔ)氣罐、氣體過濾設(shè)備、氣體除濕干燥設(shè)備以及消聲設(shè)備。空壓機(jī)是供氣的動(dòng)力設(shè)備，用以滿足供氣氣量和氣壓的要求，一般要求采用無油潤(rùn)滑型；儲(chǔ)氣罐用于平衡供氣氣壓和氣量；氣體過濾設(shè)備用于去除空氣中的顆粒和雜質(zhì)；氣體濕干燥設(shè)備用于去除空氣中的水分，以低供氣露點(diǎn)；消聲設(shè)備用于降低氣源裝置在高壓供氣時(shí)所產(chǎn)生的噪聲。
(2）氧氣型 目前國(guó)內(nèi)外水廠臭氧凈水設(shè)施中以氧氣為氣源的均通過設(shè)置現(xiàn)場(chǎng)液氧儲(chǔ)罐或制氧機(jī)這兩種形式的氣源裝置來為臭氧發(fā)生裝置供氧氣。液氧儲(chǔ)罐供氧裝置一般應(yīng)包括液氧儲(chǔ)罐、蒸發(fā)器、添加氮?dú)饣蚩諝獾脑O(shè)備以及液氧儲(chǔ)罐壓力和罐內(nèi)液氧儲(chǔ)存量的顯示及報(bào)警設(shè)備等。商購(gòu)液氧純度較高（99％以上）,而提供給臭氧發(fā)生器的氧氣濃度應(yīng)在90%~95%，且要求含有少量的氮?dú)猓虼诵枰捎玫獨(dú)鈨?chǔ)罐或空壓機(jī)，并配有相應(yīng)的氣體混配器。
制氧機(jī)供氧裝置一般應(yīng)包括制氧設(shè)備、供氣狀況的檢測(cè)報(bào)警設(shè)備、備用液氧儲(chǔ)罐、蒸發(fā)器以及備液氧儲(chǔ)罐壓力和罐內(nèi)液氧儲(chǔ)存量的顯示及報(bào)警設(shè)備等。一般制氧機(jī)所制取的氧氣純度在90%~95%，其中含有少量的氮?dú)狻２捎弥蒲鯔C(jī)供氧時(shí)，需配備備用的液氧儲(chǔ)罐及其蒸發(fā)器，以保證故障維修與設(shè)備停運(yùn)保養(yǎng)期間不間斷。液氧儲(chǔ)罐的最少儲(chǔ)存量不應(yīng)少于兩天。此時(shí)可不考慮用加氮?dú)饣蚩諝獾脑O(shè)備，以降低設(shè)備投資和化設(shè)備系統(tǒng)。