IST微流量傳感器MFS
產品型號：MFS02
產品介紹
IST AG MicroFlowSens (MFS) 技術專為快速流量測量而開發。由于膜系統，熱質量減少到低限度，從而導致非常快的響應時間和低功耗。除了測量流量外，MicroFlowSens 還提供靈敏度并能夠檢測流向。MFS 流量傳感器是有限空間系統集成更合適的選擇，可用作 PCB 上的集成傳感器。
性能特點:
● 熱式質量流量傳感器
● 適合氣體流量和方向的超快速測量
● 在 CTA 模式下具有高流速和快速響應時間的應用的解決方案
● 使用 CTA 模式 (10'000'000 : 1) 無旁路時具有非常高的測量動態
● 非常適合測量非常低的流量和使用橋接模式進行泄漏檢測
● 對腐蝕性氣體和蒸汽具有高耐化學性
● 提供不同的靈敏度和電路拓撲
● 流向檢測
● 可根據要求提供客戶特定的傳感器布局
參數:
● 測量介質：氣體流量
● 流動方向：兩個方向（kalorimetric）
● 工作溫度范圍：-20°C至+80°C
● 芯片尺寸：5.0 x 3.4 x 0.5 mm
● 連接類型：焊盤
● 流量范圍全橋模式：分別為0 m/s至1.5 m/s。0毫升/分鐘至100毫升/分鐘
● 流量范圍CTA模式：分別為0 m/s至150 m/s。0升/分鐘至10升/分鐘
● 響應時間t63:<10ms
● 響應靈敏度：0.0003 m/s（20μL/min）
● 基板：玻璃
● 產地：瑞士