于式電火花加工原理：使用管狀電極，加工時(shí)，作為放電介質(zhì)的高速氣體從管電極中噴出，起到了排除電蝕產(chǎn)物、恢復(fù)絕緣及冷卻電極和工件的作用，電極隨主軸旋轉(zhuǎn)。氣體在加工前排除水分，減少水分對加工的影響。國枝正典研究室對干式電火花成形加工和干式線切割加工都進(jìn)行了較為深入的研究。對照實(shí)驗(yàn)表明氣中加工的速度只有油中的1/10，但單個(gè)脈沖蝕除量的差別并不明顯。他們認(rèn)為氣中加工速度低的主要原因是短路率過高。短路率實(shí)驗(yàn)創(chuàng)造氣中加工時(shí)短路率有時(shí)甚至達(dá)到90%。為了降低短路率，研究人員在Z軸伺服系統(tǒng)中參加壓電驅(qū)動，此措施使短路率大大減小，加工速度得到較大進(jìn)步，達(dá)到和油中加工相近的程度，壓電驅(qū)動和電極旋轉(zhuǎn)也為后來大多數(shù)研究人員采用。
干式電火花加工采用氣體和霧作為放電介質(zhì)，與液中放電加工相比，具有放電能量和加工問隙小、對環(huán)境和操作者無污染、無火災(zāi)隱患等優(yōu)點(diǎn)。介紹了干式及準(zhǔn)干式電火花加工技巧的發(fā)展和利用，包含干式成形銑削、干式線切割加工、氣中拋光、超聲振動幫助干式加工、霧中銑黼和鉆孔等。 電火花加工通常以電介質(zhì)。
電火花加工通常以電介質(zhì)液體作為工作介質(zhì)，其作用有：①消電離;②使電蝕產(chǎn)物較易從放電間隙中排除;③冷卻電極和工件;④壓縮放電通道，增加等離子體的力。電火花成形加工最常用的放電介質(zhì)為碳?xì)浠衔镉皖悾潆娮杪省⒄扯�、密度、表面張力等性能都符合電火花加工的請求。但也存在容易著�?對人體和環(huán)境有污染等毛病。
水基工作液在電火花線切割加工中利用廣泛，在某些成形加工中也有所利用。同油類工作液相比，水基工作液對環(huán)境和人體不利影響小，沒有火災(zāi)危險(xiǎn)，但也存在一些問題，如熱量喪失大，排屑效果不佳，由于急冷易形成白層，容易銹蝕機(jī)床。人們也曾嘗試過采用氣體作為工作介質(zhì)，但受當(dāng)時(shí)技巧條件限制，排屑、短路等問題難以解決。直到20世紀(jì)90年代，日本東京農(nóng)工大學(xué)的國枝正典教授率先成功實(shí)現(xiàn)了干式電火花加工，才突破了電火花加工只能在液體介質(zhì)中進(jìn)行的認(rèn)識，開辟了電火花加工的新方法，由此引起了人們的研究興趣。
在干式電火花加工的基礎(chǔ)上，上海交通大學(xué)和美國密西根大學(xué)分辨提出了以霧為介質(zhì)的放電加工。霧作為加工介質(zhì)加工同樣具有對環(huán)境和人體不利影響小，沒有火災(zāi)危險(xiǎn)等優(yōu)點(diǎn)。由于霧的電學(xué)和熱學(xué)性質(zhì)介于氣體和液體之問，故期望其能集二者之優(yōu)點(diǎn)而避免它們的毛病。