一、“ALARM””燈亮 a.外控保護(hù)連接未連通；停電檢查外控保護(hù)點(diǎn)及冷卻系統(tǒng). b.其他故障
二、點(diǎn)燈失敗 a.最小給定電流值過(guò)��；適當(dāng)加大給定電流值. b.電燈引燃高壓不合適， c.電極耐壓不夠，電極附近出現(xiàn)打火現(xiàn)象 d.高壓引燃單元壞 e.腔體內(nèi)去離子水不合格；換掉離子水，檢修去離子 f.燈管老化.
