在數控電火花線切割機加工過程中，線切割鉬絲和工件加工表面之間位置關系合理時，加工表面精度就能達到加工要求，否則就不能達到加工要求，加工精度分析就是分析和研究加工精度不能滿足要求時各種因素，即各種原始誤差產生的可能性，并采取有效的工藝措施進行克服，從而提高加工精度。
在電火花線切割機床加工中，機床、夾具、工件和鉬絲構成一個完整的系統，稱為工藝系統。由于工藝系統本身的結構和狀態、操作過程以及加工過程中的物理力學現象而產生刀具和工件之間的相對位置關系發生偏移的各種因素稱為原始誤差。它可以照樣、放大或縮小地反映給工件，使工件產生加工誤差而影響零件加工精度。一部分原始誤差與切削過程有關；一部分原始誤差與工藝系統本身的初始狀態有關。這兩部分誤差又受環境條件、操作者技術水平等因素的影響。
1.與工藝系統本身初始狀態有關的原始誤差
①原理誤差 即加工方法原理上存在的誤差。
②工藝系統幾何誤差
（1）工件與刀具的相對位置在靜態下已存在的誤差，如刀具和夾具制造誤差，調整誤差以及安裝誤差；
（2）工件和刀具的相對位置在運動狀態下存在的誤差，如機床的主軸回轉運動誤差，導軌的導向誤差，傳動鏈的傳動誤差等。
2.與切削過程有關的原始誤差
①工藝系統力效應引起的變形，如工藝系統受力變形、工件內應力的產生和消失而引起的變形等造成的誤差。
②工藝系統熱效應引起的變形，如機床、刀具、工件的熱變形等造成的誤差。