電火花加工精度是指加工后的工件尺寸和圖紙尺寸要求相符合的程度。兩者不相符合的程度通常是用誤差大小來衡量。誤差包括加工誤差、安裝誤差和定位誤差。其中，后兩種誤差是與工件和電極的定位、安裝有關，和加工本身無關。要提高加工精度減小加工誤差，首先要選擇高精度的機床，保證工件和電極的安裝定位精度，其次主要與電火花加工工藝有關。
1.加工間隙(側面間隙)的影響
加工間隙的大小及其一致性直接影響電火花成形加工的加工精度。只有掌握每個規準的加工間隙和表面粗糙度的數值，才能正確設計電極的尺寸，決定收縮量，確定加工過程中的規準轉換。
2.表面粗糙度
電火花加工表面的粗糙度取決于放電蝕坑的深度及其分布的均勻程度，只有在加工表面產生淺而分布均勻的放電蝕坑，才能保證加工表面有較小的粗糙度值。為了控制放電凹坑的均勻性，需要采用等能量放電脈沖控制技術，即檢測間隙電壓擊穿下降沿，控制放電脈沖電流寬度相等，用相同的脈沖能量進行加工，從而使加工表面粗糙度微觀上均勻一致。
3.加工斜度的影響
在加工中，不論型孔還是型腔，側壁都有斜度，形成斜度的原因，除電極側壁本身在技術要求或制造中原有的斜度外，一般都是由電極的損耗不均勻，以及“二次放電”等因素造成的。
（1）工作液臟污程度的影響。工作液越臟，“二次放電”的機會就越多，同時由于間隙狀態惡劣，電極回升的次數必然增多。這兩種情況都將使加工斜度增大。
（2）電極損耗的影響。電極由于損耗而形成錐度，這種錐度反映到工件上，就形成了加工斜度。
（3）加工深度的影響。隨著加工深度的增加，加工斜度也隨著增加，但不是成比例關系。當加工深度超過一定數值后，被加工件的上口尺寸就不再擴大了，即加工斜度不再增加。
（4）沖油或抽油的影響。采用沖油或抽油對加工斜度的影響是不同的。用沖油加工時，電蝕產物由已加工面流出，增加了“二次放電”的機會，使加工斜度增大。而用抽油加工時，電蝕產物是由抽吸管排出去，干凈的工作液從電極周邊進入，所以在已加工面出現“二次放電”的機會較少，加工斜度也就小。
不同的加工對象對加工斜度的要求也不同。在型腔加工中，由于本身要求有一定的拔模斜度，則對加工斜度的要求并不嚴格。對于直壁沖模，則要求加工斜度比較嚴格。只要掌握影響加工斜度的規律，即可達到預定的要求。
4.楞角倒圓的原因及規律
電極尖角和楞邊的損耗，比端面和側面的損耗嚴重，所以隨著電極楞角的損耗導致楞角倒圓，加工出的工件不可能得到清楞。而且，隨著加工深度的增加，電極楞角倒圓的半徑增大。但超過一定加工深度，其增大的趨勢逐漸緩慢，最后停留在某一最大值上。
楞角倒圓的原因除電極的損耗外，還有放電間隙的等距離性。凸尖楞電極由于尖角放電的等距離性，必然使工件產生圓角；凹尖楞電極的尖點根本不起放電作用，但由于積屑也會使工件凸楞倒圓。因此，既使電極完全沒有損耗，由于間隙放電的等距離性仍然不可能得到完全的清楞。如果要求倒圓半徑很小，必須要縮小放電間隙。
在一般型腔加工中，往往對清角的要求并不非常嚴格。而加工沖模卻常要求清楞清角，可用增加電極穿透深度的辦法來實現。