微電火花加工工藝的發展，是將電火花腐蝕工藝方法集成在一臺機床上完成，這樣一來，這種“集成式，或者多功能”微電火花腐蝕加工機床就集合了許多電火花腐蝕加工的優點：減少了工件的裝夾轉換次數和時間，減少了電極的裝夾更換次數與時間。這不僅僅是減少了機床操作者的設備調整時間，尤其是避免了反復裝夾微型工件時的安裝誤差。這種微加工工藝技術集成的另一大優點是：在多種微加工生產過程中絕緣條件、電機、振蕩器工作參數的選擇幾乎保持不變。例如，研究試驗的結果告訴我們：消電離的冷卻液在導電能力為1μS/cm的條件下有很低的粘度。與油類相比，在很小的放電間隙中消電離的冷卻液的電擊穿能力要小的多。另外，由于放電持續時間很小，陰極電極的磨損也很小。
微電腐蝕加工工藝方法集成在一臺機床上的實例：電火花腐蝕孔加工與電腐蝕線切割加工回轉體工件。在加工小直徑的孔時，例如加工直徑100μm以下的孔時，是不能使用“桿式電極”的，而是采用特殊形狀的電極，將一個硬質合金制造的圓柱形電極加工成特殊形狀電極則必須使用電腐蝕中的線切割工藝（WEDD）。在這一特殊形狀電極的加工過程中，圓柱形電極成為了被電火花腐蝕加工的“工件”。這樣一來，就需要在微電火花腐蝕加工機床中，附帶的加上一套線切割腐蝕加工系統。這種機床配置方案減少了一次工件裝夾過程，可以達到很高的定位精度。這種集成方案既可以加工出有回轉對稱軸的，也可以生產出四邊形的電極，既可以生產微電腐蝕加工的“刀具”，也可以生產微電腐蝕加工的工件，例如加工微銑削加工的特種銑刀等等。
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