真空泵油的性能要求:
飽和蒸汽壓是真空泵油較關鍵的指標之一。在恒溫的密閉容器中，當汽液兩相達到動態平衡時的壓力稱謂飽和蒸汽壓。
油品的飽和蒸汽壓要盡量低，在泵的最高工作溫度下，仍要具有足夠低的飽和蒸汽壓,并要低于真空泵規定的極限壓強。在60℃溫度條件下至少要達到6．5×10-5 kPa(因溫升每上升20℃，飽和蒸汽壓大約要下跌一個數量級)。
3、真空泵油的極限全壓力和極限分壓力
極限全壓力：由皮拉尼計或熱偶真空計測出真空泵所有物質(氣體)產生壓強的總和。國外目前重視全壓強的測試指標。
極限分壓力：用水銀壓縮式真空計(麥氏計)測得的泵的極限空氣分壓力，雙級旋片泵分壓力應為≤6×10-5kPa。極限全壓力與極限分壓力差值要求不大于一個數量級。二者之間的差值越大，真空泵油中含有的揮發成分就越多，油品的性質就越差。
(注：極限全壓力、極限分壓力均采用雙級優級真空泵進行試驗)
4、真空泵油的潤滑性
摩擦面的磨擦磨損、表面疲勞磨損以及腐蝕磨損等，都與潤滑條件有關。表現佳的真空泵油有利于抑制腐蝕磨損；可以有效地減輕粘著磨損和表面疲勞磨損；流體潤滑劑對摩擦面具有清洗作用，也可減輕磨擦磨損。降低摩擦阻力以節約能源，減少磨損，以延長機械壽命。
5、真空泵油的降溫冷卻性能
降低摩擦面的溫度是潤滑的一個重要作用。摩擦面運動時必須克服摩擦力而作功，消耗在克服摩擦力上的功全部轉化為熱量，其結果將引起摩擦面溫度上升。摩擦熱的大小與潤滑狀態有關，粘度高的熱量最大，粘度低的熱量最小，而邊界摩擦的熱量則介于兩者之間。由此可見，用合適粘度的真空泵油不僅可以實現液體潤滑，減少摩擦熱的產生，而且還可以將摩擦熱及時地帶出泵體外。
6、真空泵油的清凈性
摩擦副不可避免地要與周圍介質接觸，引起腐蝕、銹蝕而破壞。表現優良的真空泵油要求盡可能把摩擦面積垢清洗排除；抗腐蝕防銹并保護摩擦表面不受油變質或外來侵蝕。
7、真空泵油的氧化安定性
氧化安定性說明潤滑油的抗老化性能，對工業流水線作業的真空泵油都有此項特殊性能要求。一切潤滑油都依其化學組成和所處外界條件的不同，而具有不同程度的自動氧化傾向。真空泵油在有空氣(或氧氣)及金屬催化劑的存在下，在一定溫度下的氧化時間里，會出現油品的酸值、粘度變化及生成沉淀物的情況。會隨使用過程而發生氧化作用，因而逐漸生成一些醛、酮、酸類和膠質、瀝青質等物質，氧化安定性則是抑制上述不利于油品使用的物質生成的性能。
8、真空泵油的耐熱安定性
表示油品的耐高溫能力，也就是潤滑油對熱分解的抵抗能力，即熱分解溫度。一些苛刻的真空使用環境都會對真空油品提出熱安定性的要求。
天然礦物油均有其不可避免的缺陷，耐熱性能要比合成油差，泵油的成份隨熱氧化分解極易劣化，極限壓力穩定性差，抽速也隨使用時間下降。一般純礦物油氧化試驗法D943為幾百小時左右，而合成油的D943可延長到3000小時以上。可見其使用壽命得到延長。
9、真空泵油的抗乳化性
真空泵在運轉過程中，系統內的水分與冷氣體會排入泵油中， 如果真空泵油的抗乳化性不好，它將與混入的水形成乳化液，使水不易從循環油箱的底部放出，從而可能造成真空度下降和潤滑不良。
因此抗乳化性是工業潤滑油的一項很重要的理化性能。尤其在醫藥、食品、陶瓷等工業使用真空干燥過程中，泵油的抗乳化性能更至關重要。抗乳化性好的泵油油水分離能力強，水蒸汽和冷凝氣體通過開啟氣鎮閥，會排出部分水蒸汽。另外，低粘度泵油的抗乳化能力比高粘度泵油要好。
10、真空泵油的抗泡性
真空泵在運轉過程中，由于有空氣存在，常會產生泡沫，尤其是當油品中含有具有表面活性的添加劑時，則更容易產生泡沫，而且泡沫還不易消失。潤滑油使用中產生泡沫會使油膜破壞，不僅使摩擦面發生燒結或增加磨損，并促進潤滑油氧化變質。運轉中的真空系統內氣體會通過密封的真空泵油層不斷排出，排出的氣體會在油層表面產生大量的氣泡，并從泵的排氣孔中溢出，造成油品損失和設備污染。加防抗泡劑的泵油，在抗泡效果上有明顯提高。
