迄今，在各種流量計(jì)中，蒸汽流量計(jì)仍然占據(jù)著相當(dāng)大得比例，例如電磁流量計(jì)、流體振動(dòng)流量計(jì)、超聲波流量計(jì)等等，但是在工業(yè)生產(chǎn)中，各種原料的配比或品質(zhì)的控制，物料運(yùn)送，能量平衡，貿(mào)易交接等等，往往要知道質(zhì)量流量。對(duì)于氣體和蒸汽流量計(jì)測(cè)量，因工藝條件經(jīng)常變動(dòng)，流體的工作狀態(tài)變化，會(huì)引起其密度的變化，測(cè)量體積流量就會(huì)出現(xiàn)很大的誤差。以常溫常壓氣體為例，當(dāng)氣體溫度變化1°c，會(huì)引起密度變化0.3%，壓力變化1kpa，會(huì)引起密度變化1%。因此，簡(jiǎn)單的測(cè)量體積流量幾乎沒(méi)有什么意義。為此必須采用溫度、壓力補(bǔ)償?shù)姆椒ǎ压ぷ鳡顟B(tài)的體積流量換算為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)的體積流量，就可以減小測(cè)量誤差。對(duì)一些組分的混合氣體，特別是組分變化較大的氣體，即使采用壓力、溫度補(bǔ)償，也不能準(zhǔn)確測(cè)量，因?yàn)榻M分變化所引起介質(zhì)密度的變化產(chǎn)生的測(cè)量誤差是不能用溫度、壓力補(bǔ)償?shù)姆椒▉?lái)消除的。還有，對(duì)工作壓力較高的氣體，由于壓縮系數(shù)隨壓力盒溫度變化，測(cè)量體積流量時(shí)還必須考慮壓縮系數(shù)z的影響。基于以上原因，測(cè)量質(zhì)量流量就顯得尤為重要，國(guó)外從20世紀(jì)50年代就出現(xiàn)了用于石油、天然氣計(jì)量的質(zhì)量式流量計(jì)，在60年代出現(xiàn)熱式質(zhì)量流量計(jì)，70年代后期出現(xiàn)科式力質(zhì)量流量計(jì)。近年來(lái)，
蒸汽流量計(jì)和科式力質(zhì)量流量計(jì)都取得了較快的發(fā)展。但是這些儀器儀表也都存在一定的局限性，科式力質(zhì)量流量計(jì)雖然精度高，但它主要用于液體和高壓狀態(tài)下氣體流量測(cè)量，對(duì)于常壓或壓力較低的氣體并不適用。熱式質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)是低流速特性好，對(duì)低密度、高密度氣體，小管徑和大管徑都適用，但對(duì)各種導(dǎo)熱系數(shù)不同的氣體，流量標(biāo)定系數(shù)差異較大，需進(jìn)行換算。測(cè)量精度不高是熱式流量計(jì)的缺點(diǎn)。質(zhì)量型流量計(jì)是渦街流量計(jì)發(fā)展的另一個(gè)分支。從20世紀(jì)70年代起就有人探討流量計(jì)測(cè)量質(zhì)量流量的可能性。80年代國(guó)外的儀表制造廠曾投入開(kāi)發(fā)，并取得了一定的進(jìn)展，陸續(xù)出現(xiàn)了一些專利。90年代日本橫河投入開(kāi)發(fā)，并取得了一定成果。在國(guó)內(nèi)，重慶工業(yè)自動(dòng)化儀表研究所，在80年代曾采用渦街流量計(jì)加氣體密度計(jì)的方案完成了氣體質(zhì)量流量計(jì)的開(kāi)發(fā)，并獲得發(fā)明專利。近幾年，人們對(duì)質(zhì)量型渦街流量計(jì)還在進(jìn)行不斷地探索。質(zhì)量型渦街流量計(jì)分間接式和直接式兩大類。間接式渦街流量計(jì)是指采用渦街流量計(jì)與其他儀表組合的方法，測(cè)量流體的質(zhì)量流量，直接式渦街流量計(jì)是指儀表的檢測(cè)元件直接檢測(cè)與質(zhì)量流量成正比的物理量，從而實(shí)現(xiàn)質(zhì)量流量測(cè)量的
蒸汽流量計(jì)。
